据 Acp 系统称，这家多结太阳能电池制造商需要一种集成到等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工艺中的全自动解决方案来提高生产率，但同时也要精确、小心地处理基于锗基板的高价值太阳能电池。

上海油压工作室新解决方案旨在确保满足工件托架嵌套中规定的 +/- 0.1 毫米定位精度，并补偿托架的制造公差和装载过程中冷却引起的收缩。

为了应对这一挑战，我们开发了一种智能视觉辅助晶圆处理解决方案，即支持双面镀膜的工业级选择性柔顺关节型机械臂 (SCARA) 机器人。该机器人安装并集成在 Singululs Technologies PECVD 系统的晶圆盒装载区内。

Acp Systems 的一位发言人证实：“新系统于 2024 年 6 月投入使用，自那时起就再也没有发生过与处理相关的晶圆破损事故。”

该解决方案至少包含两个相机子系统——Cognex Vision Pro 机器视觉软件和 SCARA 机器人。后者的机械臂伸展范围达 1,000 毫米，可以从晶圆盒中拾取晶圆，并将其可靠、准确地放入工件托架上几百微米大的碳纤维槽中，并执行其他任务。

上海油压工作室机械臂配备扁平真空夹持器，可快速更换以处理不同尺寸的晶圆。该系统还配备一个翻转站，用于翻转待双面涂覆的太阳能电池。Acp Systems 表示：“根据电池尺寸，1,000 毫米 x 600 毫米的载具可容纳 4 片、9 片或 16 片晶圆。”

一台1200万像素的摄像头可检测背光校准台上晶圆的精确位置，并在整个过程中将信息发送到机器视觉软件。该软件提供控制和计算能力，即使晶圆和晶圆盒与原始尺寸、形状或厚度存在偏差，也能实现精确定位和处理。例如，在高达350°C的温度下，涂层工艺后冷却导致晶圆热收缩的情况。

上海油压工作室最后，使用摄像系统进行质量控制，确保在将涂层太阳能电池放回盒中之前，晶圆的边缘没有损坏。

Acp Systems成立于1997年，为太阳能光伏、电子、半导体、汽车、医疗和制药制造行业提供技术。该公司最近开发了quattroClean雪喷射清洁系统，该系统集成到德国Sciprios公司生产的钙钛矿太阳能电池和有机光伏(OPV)制造设备中。