上海油压工作室本月21日零时17分,台湾嘉义县发生里氏6.4级地震,台积电位于台南的先进制程产线一度停机,全厂人员疏散。
上海油压工作室台积电指出,南科晶圆厂区测得最大震度为5级、中科厂区最大测得震度为4级、竹科厂区最大测得震度为3级。为确保人员安全,各厂区依照内部程序启动相关安全预防措施,部分中部及南部厂区在第一时间进行人员疏散,21日凌晨1时许全数完成清点,确定人员安全无忧。各厂区也完成建筑震后损害检查,确认结构安全无忧,逐步回线。
上海油压工作室业内人士透露,台积电约需要耗费一天或者以上才能将机台重新调教归位并且恢复生产功能,灾损情况同样需要时间。生产线上晶圆毁损情况方面,估计将出现1至2万片晶圆破损,是否影响客户出货进度,将视后续恢复情形。
据悉,中国台湾南科园区半导体工厂普遍有7级以上的防震设计,然而这次地震摇晃时间长,机台仍有位移风险,支援设备业者即透露,龙头大厂某产线机台几乎停摆。
台积电南科厂区目前为3、5nm制程晶圆生产的重点厂区,客户涵盖辉达、AMD、英特尔等大厂。
法人估计将出现1至2万片晶圆破损,是否影响客户出货进度,将视后续恢复情形。